特許
J-GLOBAL ID：200903082877753346
ウェハ支持体及び縦型ボート
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
溝上 満好 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-129716
公開番号（公開出願番号）：特開平10-321543
出願日： 1997年05月20日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：
【要約】【課題】 ウェハとウェハ支持体とが接着することなく、またウェハなどに損傷を与えることのないウェハ支持体及び縦型ボートを提供することを目的とする。【解決手段】 ウェハ2を支持するウェハ支持体3は、少なくとも石英ガラス、炭化珪素、シリコン、及び炭化珪素とシリコンの複合体の1種類でなり、表面粗さをRaで0.05μm以上、かつRmaxで50μm以下とした。
請求項（抜粋）：
ウェハの熱処理時に用いる縦型ボートを構成するウェハ支持体であって、少なくとも石英ガラス、炭化珪素、シリコン、及び炭化珪素とシリコンの複合体の1種類からなり、表面粗さがRaで0.05μm以上、かつRmaxで50μm以下であることを特徴とするウェハ支持体。
IPC (2件)：
H01L 21/22 511
, H01L 21/68
H01L 21/22 511 G
, H01L 21/68 N
