特許
J-GLOBAL ID：200903082881239940
高透過率球状電極およびエネルギー分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
工業技術院電子技術総合研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-196110
公開番号（公開出願番号）：特開平8-046004
出願日： 1994年07月28日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：
【要約】【目的】 エネルギー分析装置において電極の荷電粒子の透過率を改善し、かつ荷電粒子の角度分布の再現をよくする。【構成】 高透過率球状電極は、それぞれ複数の孔を有し半径の異なる球状の複数の阻止電極が同心球状に配置され、複数の阻止電極の複数の孔はその中心が対応する各電極の孔毎に同心点からの同一放射線上に設けられている。
請求項（抜粋）：
それぞれ複数の孔を有し半径の異なる球状の複数の阻止電極が同心球状に配置され、前記複数の阻止電極の複数の孔はその中心が対応する各電極の孔毎に同心点からの同一放射線上に設けられていることを特徴とする高透過率球状電極。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01T 1/36
, H05H 7/00
