特許

J-GLOBAL ID：200903082881925860

欠陥検査方法及びその実施に使用する装置

発明者： 横山 廣一
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 河野 登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-239200
公開番号（公開出願番号）：特開平7-063698
出願日： 1993年08月30日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：

【要約】【目的】 精度良く欠陥の判定が行える欠陥検査方法及びその実施に使用する装置を提供する。【構成】 信号処理回路4では、まず欠陥有無判定回路41にてA/D変換された信号がノイズ除去のための閾値を越えているか否かを判断して、欠陥の有無を判定する。そしてこの閾値を越える信号部分がある場合は、2値化回路42にてこの閾値を用いて2値化し画像を形成し、これと同時的に、2値化回路43にてこの閾値より小さい閾値を用いて2値化し画像を形成する。これら画像はフレームメモリ44, 45にて記憶し、フレームメモリ45が記憶する欠陥画像部分からフレームメモリ44が記憶する欠陥画像部分を含む部分の画像信号を欠陥画像抽出回路46にて抽出し、特徴量算出回路5へ与える。特徴量算出回路5は所要の特徴量を算出し、欠陥判定回路6にて欠陥の判定を行う。

請求項（抜粋）：

被検査材をセンサにて探傷し、そのセンサから得られる信号を電気信号に変換し、量子化して欠陥を検査する欠陥検査方法において、前記電気信号のノイズを除去するための第1の閾値により欠陥の有無を判定し、欠陥有と判定された場合には、第1の閾値,及び第1の閾値より小さく、所定レベルのノイズを除去する第2の閾値にて量子化を行い、これら量子化された信号を使用して検査を行うことを特徴とする欠陥検査方法。

IPC (2件)：

G01N 21/89 ,  G01N 21/88

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開昭62-289752
  
• 特開昭59-027206