特許
J-GLOBAL ID:200903082884039969

研磨工具およびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 阪本 善朗
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-228097
公開番号(公開出願番号):特開2002-036087
出願日: 2000年07月28日
公開日(公表日): 2002年02月05日
要約:
【要約】【課題】 加工面積が小さく曲率変化の大きな自由曲面形状等の複雑な形状を研磨残りや面形状変化を発生させずに高精度に研磨加工することができる研磨工具およびその製造方法を提供する。【解決手段】 工具軸4に貼り付けられた弾性材料としてのウレタンゴム3に複数の微小孔2を並列するように穿設し、複数の微小孔2にそれぞれポリシャーとなる粘弾性材料のピッチ1を充填形成して研磨工具を構成し、複数の微小孔2に充填されたピッチ1の加工面となる表面は、互いに接触することなくかつウレタンゴム3の表面から突出して同一面上に位置するように形成する。簡単な構造で弾性材料と粘弾性材料双方の特徴を利用することができ、加工面積が小さく凹凸混在などの曲率変化の大きな自由曲面形状等の複雑な光学面を形状崩れなく切削痕を除去する研磨を可能にする。
請求項(抜粋):
弾性材料に穿設した複数の微小孔にそれぞれポリシャーを充填形成し、該ポリシャーの表面が互いに接触することなくかつ前記弾性材料と同一面もしくは弾性材料表面よりも突出して形成されていることを特徴とする研磨工具。
IPC (2件):
B24B 13/01 ,  B24D 7/18
FI (2件):
B24B 13/01 ,  B24D 7/18 F
Fターム (12件):
3C049AA09 ,  3C049CA01 ,  3C049CA03 ,  3C049CB01 ,  3C063AA01 ,  3C063AB05 ,  3C063BA03 ,  3C063BA08 ,  3C063BG01 ,  3C063BG22 ,  3C063EE02 ,  3C063EE19

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