特許

J-GLOBAL ID：200903082884130850

キャリア及び研磨装置

発明者： 新井 初雪
出願人/特許権者： スピードファム・アイペック株式会社
代理人 (1件)： 塚原 孝和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-145075
公開番号（公開出願番号）：特開2000-015572
出願日： 1998年05月11日
公開日（公表日）： 2000年01月18日
要約：

【要約】【課題】 ワークの高精度な研磨を可能にすると共に、ワークのリーク汚染や損傷を防止することができるキャリア及び研磨装置を提供する。【解決手段】 キャリア1は、キャリア本体部2と圧力室部3と流体通路部4とを具備しており、圧力室部3の内部には、複数の弁部5が特設されている。これにより、圧力室部3内が負圧状態になったときに弁部5が開いてウエハWを吸着し、正圧状態になったときに閉じて、圧力室部3内の空気がウエハWを均一に加圧する。また、正圧状態時に弁部5が閉じるので、圧力室部3内の空気が外部に流出することはない。

請求項（抜粋）：

ワークの収納穴を有したキャリア本体部と、上記キャリア本体部の収納穴内に張られ且つ上記ワークの裏面全体に接触可能な可撓性のシートによって画成された圧力室部と、上記キャリア本体部に設けられ上記圧力室部と連通した流体経路,及び上記シートに設けられ上記圧力室部と連通した複数の孔で形成された流体通路部とを具備するキャリアにおいて、上記シートの各孔の近傍に、上記圧力室部内が正圧状態のときに各孔を閉じ、且つ上記圧力室部内が負圧状態のときに各孔を開く弁部を設けた、ことを特徴とするキャリア。

Fターム (7件)：

3C058AA07 ,  3C058AA12 ,  3C058AB04 ,  3C058BC01 ,  3C058CB02 ,  3C058DA06 ,  3C058DA17