現像装置及び現像方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡本啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-026657
公開番号（公開出願番号）：特開平5-226242
出願日： 1992年02月13日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：

【要約】【目的】本発明は、ウエハ上に形成された露光済のレジスト膜の現像及び現像後の現像液等の乾燥を行う現像装置に関し、現像後の洗浄の際、被現像体上に洗浄液等が残存しないように除去することができる現像装置及び現像方法の提供を目的とする。【構成】現像液の吐出口37を有する現像液ノズル36と、洗浄液の吐出口39を有する洗浄液ノズル38と、現像液ノズル36及び洗浄液ノズル38のうち少なくともいずれか一方の吐出口とウエハ載置部23とが対向するように、現像液ノズル36及び洗浄液ノズル38のうち少なくともいずれか一方を移動させる第1の移動手段27,28と、ウエハ載置部23の対向面に垂直な軸の回りにウエハ載置部23を回転させる第1の回転手段24,25 とを少なくとも有する現像装置であって、ガスの導入口35及び噴出口40を有するガスノズル33と、ガスノズル33の噴出口40とウエハ載置部23とが対向するようにガスノズル33を移動させる第2の移動手段31,32 とを含み構成する。

請求項（抜粋）：

ウエハ載置部と、現像液の吐出口を有する現像液ノズルと、洗浄液の吐出口を有する洗浄液ノズルと、前記現像液ノズル及び洗浄液ノズルのうち少なくともいずれか一方の吐出口と前記ウエハ載置部とが対向するように、前記現像液ノズル及び洗浄液ノズルのうち少なくともいずれか一方を移動させる第1の移動手段と、前記ウエハ載置部の対向面に垂直な軸の回りに前記ウエハ載置部を回転させる第1の回転手段とを少なくとも有する現像装置であって、ガスの導入口及び噴出口を有するガスノズルと、前記ガスノズルの噴出口と前記ウエハ載置部とが対向するように前記ガスノズルを移動させる第2の移動手段とを有することを特徴とする現像装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/30 502

FI (2件)：

H01L 21/30 361 L , H01L 21/30 361 P

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平1-231046
IC製造における現像方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-214515 出願人：ミツミ電機株式会社
特開平4-074413

前のページに戻る