特許
J-GLOBAL ID:200903082885969013
シリコン上に単結晶GaNを成長させる方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (6件):
社本 一夫
, 増井 忠弐
, 小林 泰
, 千葉 昭男
, 富田 博行
, 西山 文俊
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-509768
公開番号(公開出願番号):特表2006-523033
出願日: 2004年04月07日
公開日(公表日): 2006年10月05日
要約:
シリコン基板上に少なくとも2ミクロンの厚さの単結晶GaN薄膜を成長させる方法を開示する。該方法は、プレレイヤー、シリコン基板上のAlNを含むバッファ層、及び、該AlNバッファ層の頂部に交互に堆積された複数のGaN層及びAlN層を成長させることを含む。複数のGaN層及びAlN層の堆積条件及びタイミングを制御することにより、単結晶GaN薄膜は、クラック又はピット無しで2ミクロンより厚く成長させることができる。
請求項(抜粋):
シリコン基板上に単結晶GaN(窒化ガリウム)を成長させる方法であって、
水素雰囲気中でトリメチルアルミニウム(TMAl)を使用して、シリコン基板の頂部に少なくとも一つの最初の層を堆積させ、
前記最初の層の頂部に複数のGaN層及び中間層を交互に堆積させる、
ステップを含むことを特徴とする方法。
IPC (4件):
H01L 21/205
, C30B 29/38
, C30B 25/02
, C23C 16/34
FI (4件):
H01L21/205
, C30B29/38 D
, C30B25/02
, C23C16/34
Fターム (59件):
4G077AA03
, 4G077BE15
, 4G077DB06
, 4G077DB08
, 4G077EA02
, 4G077EA04
, 4G077EA06
, 4G077ED05
, 4G077ED06
, 4G077EE02
, 4G077EF03
, 4G077EF04
, 4G077HA02
, 4G077HA06
, 4G077HA11
, 4G077TA04
, 4G077TA07
, 4G077TB05
, 4G077TC06
, 4G077TC08
, 4G077TC14
, 4G077TC17
, 4G077TK01
, 4G077TK06
, 4G077TK10
, 4K030AA11
, 4K030AA13
, 4K030AA17
, 4K030BA02
, 4K030BA08
, 4K030BA38
, 4K030BB02
, 4K030BB12
, 4K030CA04
, 4K030CA12
, 4K030FA10
, 4K030JA01
, 4K030JA09
, 4K030JA10
, 4K030JA11
, 4K030LA14
, 5F045AA04
, 5F045AA06
, 5F045AB09
, 5F045AB14
, 5F045AC08
, 5F045AC12
, 5F045AD14
, 5F045AE25
, 5F045AF03
, 5F045AF04
, 5F045BB12
, 5F045BB13
, 5F045CA12
, 5F045DA53
, 5F045DA63
, 5F045HA03
, 5F045HA04
, 5F045HA23
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