特許
J-GLOBAL ID:200903082894355192
ガルバノミラー
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
伊藤 進
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-283667
公開番号(公開出願番号):特開2003-090977
出願日: 2001年09月18日
公開日(公表日): 2003年03月28日
要約:
【要約】【課題】 ミラーを第1軸および第2軸に傾けて駆動するガルバノミラーにおいて、ミラーの回転振動、さらにミラ一面に垂直な方向の振動に対して効果的なダンピングを得る。【解決手段】 ダンピング材51はバネ端部23を包括するように付着されると同時にミラーホルダ18、マグネットホルダ14に付着、すなわちミラーホルダ18とマグネットホルダ14を連結するように保持される。
請求項(抜粋):
少なくとも反射面を有する可動部と、この可動部を固定部材に対して第1および第2の軸回りに傾き可能に支持するバネと、前記可動部を前記第1および第2の軸回りに駆動する第1および第2の駆動手段とを有するガルバノミラーにおいて、前記可動部と前記固定部材が、前記反射面に平行な平面上で、かつ前記第1および第2の目転軸に直交する軸上においてダンピング材で連結することを特徴とするガルバノミラー。
IPC (4件):
G02B 26/10 104
, G02B 26/10
, G02B 26/08
, G11B 7/09
FI (5件):
G02B 26/10 104 A
, G02B 26/10 C
, G02B 26/10 104 Z
, G02B 26/08 E
, G11B 7/09 E
Fターム (15件):
2H041AA14
, 2H041AB14
, 2H041AC05
, 2H041AZ02
, 2H041AZ05
, 2H045AB13
, 2H045AB16
, 2H045AB18
, 2H045DA32
, 5D118AA23
, 5D118DC07
, 5D118EF03
, 5D118EF08
, 5D118FA30
, 5D118FB05
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