特許
J-GLOBAL ID:200903082904343813

検査装置の検査方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 河内 潤二
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-165485
公開番号(公開出願番号):特開平5-332754
出願日: 1992年06月02日
公開日(公表日): 1993年12月14日
要約:
【要約】【目的】 画像処理装置を有する検査装置による検査方法において、検査基準値の変更に必要な解析データを自動的に収集する手段を提供し、そのデータを基に必要に応じて検査基準値の変更ができるような検査装置の検査方法を提供。【構成】 検査基準値を正常品、異常に近い正常品である準正常品、正常に近い異常品である準異常品、および異常品に分類してそれぞれ設定し、そして検査を実施し、画像処理装置に前記準正常品及び準異常品についての検査データを全て記憶させ、そして準正常品及び準異常品に対して別の検査方法により再度検査を行い準正常品が異常と判断された場合および/又は準異常品が正常と判断されたとき、判断された準正常品および/又は準異常品の検査データに基づいて前記検査基準値を修正することにより、時間と共に変化する実質的な検査基準値を自動的に修正する検査装置の検査方法。
請求項(抜粋):
画像処理装置を有する検査装置による検査方法において、検査基準値を正常品、異常に近い正常品である準正常品、正常に近い異常品である準異常品、および異常品に分類してそれぞれ設定し、そして検査を実施し、前記画像処理装置に前記準正常品及び準異常品についての検査データを全て記憶させ、そして前記準正常品及び準異常品に対して別の検査方法により再度検査を行い、もし前記別の検査方法によって準正常品が異常と判断された場合および/又は準異常品が正常と判断されたとき、判断された準正常品および/又は準異常品の検査データに基づいて前記画像処理装置に接続された検査基準値修正装置を使用して前記検査基準値を修正することにより、時間と共に変化する実質的な検査基準値を自動的に修正することを特徴とする検査装置の検査方法。
IPC (5件):
G01B 11/30 ,  G01N 21/88 ,  G06F 15/18 ,  G06F 15/62 400 ,  G06F 15/70 465

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