特許
J-GLOBAL ID:200903082905488785

多次元方向に関する力・加速度・磁気の検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 志村 浩
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-048055
公開番号(公開出願番号):特開平5-215627
出願日: 1992年02月04日
公開日(公表日): 1993年08月24日
要約:
【要約】【目的】 XYZ三次元座標系における各軸方向の力とともに、各軸まわりのモーメントを検出することのできる力検出装置を提供する。【構成】 変位体10は、円盤状の平板11と四角柱状の柱状体12とからなる。変位体10の上面には5つの変位電極D1〜D5が形成され、柱状体12の4つの側面には8つの変位電極D6〜D13が形成される。この変位体10は、図示されていない固定体20の内部に宙吊り状態に保持される。固定体20の内部には、各変位電極D1〜D13のそれぞれに対向する位置に固定電極E1〜E13が設けられ、各対向電極対により容量素子C1〜C13が構成される。各容量素子の容量値の変化により、各軸方向の力Fx,Fy,Fzおよび各軸まわりのモーメントMx,My,Mzが求められる。
請求項(抜粋):
XYZ三次元座標系における力の多次元方向成分を検出する装置であって、力の作用により変形する可撓部をもった固定体と、前記可撓部によって支持される変位体と、前記変位体の一部に定義された第1の変位面と、この第1の変位面に対向し前記固定体の一部に定義された第1の固定面と、の距離を検出する第1の検出手段と、前記第1の変位面と交わり前記変位体の一部に定義された第2の変位面と、この第2の変位面に対向し前記固定体の一部に定義された第2の固定面と、の距離を検出する第2の検出手段と、前記第1の検出手段による検出値および前記第2の検出手段による検出値に基づいて、前記変位体に作用した力を座標軸方向の力成分および座標軸まわりのモーメント成分ごとに演算して求める演算手段と、を備えることを特徴とする多次元方向に関する力の検出装置。
IPC (3件):
G01L 5/16 ,  G01P 15/125 ,  G01R 33/02

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