特許
J-GLOBAL ID：200903082911360863
干渉図の空間周波数分析によって表面の形状を測定する方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野河 信太郎
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-518062
公開番号（公開出願番号）：特表平8-502829
出願日： 1994年01月13日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：
【要約】本発明の対象物体(3)の形状を測定する光学システムは、多色または白色光の光源(4)を有する干渉計(1);対象物体と参照表面の間の光路差を変える機械的走査装置(13);二次元の検出器アレー(9);および干渉データから表面の高さを求めるディジタル信号処理装置(2)を備えている。検出器のデータをディジタルメモリに記録しながら、対象物体を、照射されている対象物体の表面にほぼ直角の方向に走査することによって、視野内の検出器画像点各々の干渉図を同時に生成させる。各画像点のこれら記録された干渉図は次に、フーリエ分析によって空間周波数ドメインに変換され、次いで、空間周波数の関数として複合位相を試験することによって、対象物体表面の対応する各点の表面高さが得られる。次いで上記の高さのデータと対応する画像面の座標とから、対象物体表面の完全な三次元画像か作成される。
請求項（抜粋）：
(a)対象物体の表面および参照表面を、照射光源を備えた干渉計で照射し、対象物体の表面と光学的に一直線上に配置されかつ対象物体表面のそれぞれの位置に対応する複数の各画素を備えた二次元の検出器上に干渉パターンを生成させ; (b)参照表面と対象物体の表面との光路差を変化させて、対象物表面のそれぞれの位置に対する干渉図を、検出器の各画素に生成させ、そして前記の各干渉図は、光路差を変化させたとき、それぞれの対象物体の表面位置について、画素が受けた、干渉照明強度の変化で形成され; (c)前記の各干渉図を空間周波数ドメインに変換して、前記の各画素について、変換された干渉図のデータを形成させ; (d)前記の変換された干渉図のデータを用いて、対象物体表面のそれぞれの位置の高さを、前記の各画素について計算し;次いで (e)前記ステップ(d)で計算された高さを用いて、対象物体表面の断面図を作成する; ステップを含んでなる、対象物体表面の輪郭図を作成する方法。
IPC (2件)：
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