特許

J-GLOBAL ID：200903082915271865

オゾン発生装置

発明者： 石川 博邦 ,  藤井 悦司 ,  藤井 順二
出願人/特許権者： 株式会社安川電機
代理人 (1件)： 今井 義博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-019744
公開番号（公開出願番号）：特開平10-203805
出願日： 1997年01月17日
公開日（公表日）： 1998年08月04日
要約：

【要約】【課題】 沿面放電式オゾン発生装置における原料ガスと放電空間との接触を良好にし、放電空間の温度上昇を押さえてオゾン化効率を向上させる。【解決手段】 一方端に原料ガスの流入口2を他方端にオゾン化ガスを取り出す取出口3をそなえてガス流路を形成するオゾン発生チャンバ1と、前記オゾン発生チャンバ1内に、高周波高電圧電源に接続された放電電極8と接地電極6との間に誘電体7を有し沿面放電によりオゾンを発生させるオゾン発生手段4を前記ガス流路に沿って複数個そなえ、ガス流路の上流側の面を下流側に傾斜させ、その先端部がオゾン発生装置の放電空間9に対向して狭い流通路14を形成するようにした複数個の気流抵抗板11、12、13を設け、原料ガスを前記気流抵抗板の傾斜面aに沿って放電空間9に向かって吹き付けて乱流を生じさせ、流通路14を通ったガスが気流抵抗板の下流側で撹拌させるようにしている。

請求項（抜粋）：

一方端に原料ガスの流入口を他方端にオゾン化ガスを取り出す取出口をそなえてガス流路を形成するオゾン発生チャンバと、このオゾン発生チャンバ内に、高周波高電圧電源に接続された放電電極と接地電極との間に誘電体を有し沿面放電によりオゾンを発生させるオゾン発生手段と、ガス流路の上流側の面を下流側に傾斜させ、その先端部が前記オゾン発生手段の放電電極に対向して流通路を形成するように取り付けた気流抵抗板とを設け、原料ガスが前記気流抵抗板の傾斜面によって放電空間に向かって吹き付けられ、放電空間内で乱流を生じてオゾン化され、流通路から気流抵抗板の下流側に流れて撹拌させることを特徴とするオゾン発生装置。