スパッタ装置用ターゲット消耗量の積算値演算方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-350999
公開番号（公開出願番号）：特開平9-176851
出願日： 1995年12月25日
公開日（公表日）： 1997年07月08日
要約：

【要約】【課題】同一ターゲットを用いて複数の異なるスパッタプロセスを連続して行う場合に、ターゲットの消耗量に正確に対応した積算値を演算する。【解決手段】同一ターゲット5を用いて同一チャンバー2内でプロセスガスを変えて複数回のスパッタプロセスを連続して行うスパッタ装置におけるターゲットの積算値演算方法において、各スパッタプロセスにおける電源パワーと堆積時間と補正係数との積をそれぞれ求め、これらを加え合せて積算値とする。

請求項（抜粋）：

同一ターゲットを用いて同一チャンバー内でプロセスガスを変えて複数回のスパッタプロセスを連続して行うスパッタ装置におけるターゲット消耗量の積算値演算方法において、各スパッタプロセスにおける電源パワーと堆積時間と補正係数との積をそれぞれ求め、これらを加え合せて積算値とすることを特徴とするスパッタ装置用ターゲット消耗量の積算値演算方法。

IPC (4件)：

C23C 14/34 , C23C 14/06 , H01L 21/203 , H01L 21/285

FI (4件)：

C23C 14/34 U , C23C 14/06 N , H01L 21/203 S , H01L 21/285 S

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