特許
J-GLOBAL ID:200903082922703959

ポジションセンサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 深見 久郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-286015
公開番号(公開出願番号):特開平6-140665
出願日: 1992年10月23日
公開日(公表日): 1994年05月20日
要約:
【要約】【目的】 多分割型PSDにおいて、位置検出方向の長さの短いPSDの抵抗値を大きくする。【構成】 位置検出方向の長さの短いPSD1の抵抗部6の幅を位置検出方向の長さの長いPSD2の抵抗部5の幅より小さくする。
請求項(抜粋):
第1の導電型の半導体基板とその表面に形成された複数の第2の導電型の半導体層とよりなる、受光面の位置検出方向の長さの異なる複数のフォトダイオードを有し、各フォトダイオードの両端の電極間の抵抗はそれぞれ同一となるようにされていることを特徴とするポジションセンサ。
IPC (2件):
H01L 31/16 ,  G02B 7/28
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開昭62-293787

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