特許

J-GLOBAL ID：200903082929643331

シリコンカンチレバー及びこれを用いた超音波センサー

発明者： 藤井 孝則 ,  竹内 孝介
出願人/特許権者： 三洋電機株式会社
代理人 (1件)： 鳥居 洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-061097
公開番号（公開出願番号）：特開平7-274288
出願日： 1994年03月30日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：

【要約】【目的】 この発明は、歩留まり良く作成できるカンチレバーを提供することを目的とする。【構成】 この発明は、Si基板1に設けられた凹部11に自由端が延出され、少なくとも基端部がSi基板1と連結されたSiO2 膜20からなるシリコンカンチレバー2であって、シリコンカンチレバー2の基端部はSi基板1に設けられた凹部11の2辺11a,11bと連結している。

請求項（抜粋）：

シリコン基板に設けられた凹部に自由端が延出され、少なくとも基端部がシリコン基板と連結された二酸化シリコン薄膜からなるシリコンカンチレバーであって、前記カンチレバーの基端部はシリコン基板に設けられた凹部の2辺と連結していることを特徴とするシリコンカンチレバー。