プラズマ特性測定装置、プラズマ特性測定装置の較正方法、及びプラズマ処理装置の検査方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-211657
公開番号（公開出願番号）：特開2001-035690
出願日： 1999年07月27日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：

【要約】【課題】プラズマの特性を2次元で評価することができるプラズマ特性測定装置と、プラズマ特性測定装置の較正方法、及びプラズマ処理装置の検査方法を提供する。【解決手段】金属板7と、金属板7に設けられた9個の貫通穴の各々に挿入され、かつ、金属板7と絶縁棒8により絶縁された9個の導体棒9と、9個の導体棒9の内の任意の1つの導体棒に電圧を印加するための第1電源10と、プラズマから9個の導体棒9の内の任意の1つの導体棒に流れ込む電流を測定するための電流計11と、9個の導体棒9の内の任意の1つ以外の導体棒に電圧を印加するための第2電源12と、9個の導体棒9の内の任意の1つの導体棒と第1電源10との接続を行い、かつ、9個の導体棒9の内の任意の1つ以外の導体棒と第2電源12との接続を行うためのスイッチング機構13とを備えている。

請求項（抜粋）：

金属板と、前記金属板に設けられた複数の貫通穴と、前記複数の貫通穴の各々に挿入され、かつ、前記金属板と絶縁された複数の導体棒と、前記複数の導体棒の内の任意の1つの導体棒に電圧を印加するための第1電源と、前記第1電源からの電圧が印加されている導体棒にプラズマから流れ込む電流を測定するための電流計と、前記第1電源からの電圧が印加されている導体棒以外の導体棒に電圧を印加するための第2電源と、複数の導体棒の内の任意の1つの導体棒と第1電源との接続を行い、かつ、前記複数の導体棒の内の任意の1つの導体棒以外の導体棒と第2電源との接続を行うためのスイッチング機構とを備えたことを特徴とする、プラズマ特性測定装置。

IPC (5件)：

H05H 1/00 , C23F 4/00 , H01L 21/205 , H01L 21/3065 , H05H 1/46

FI (5件)：

H05H 1/00 A , C23F 4/00 A , H01L 21/205 , H05H 1/46 M , H01L 21/302 B

Fターム (14件)：

4K057DA16 , 4K057DD01 , 4K057DM04 , 4K057DM06 , 4K057DM16 , 4K057DN01 , 5F004AA16 , 5F004BA04 , 5F004BB12 , 5F004CA03 , 5F004CA09 , 5F004CB05 , 5F045GB02 , 5F045GB15

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