特許
J-GLOBAL ID：200903082935938653
原子間力顕微鏡用マイクロカンチレバーチップ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-109731
公開番号（公開出願番号）：特開平5-302829
出願日： 1992年04月28日
公開日（公表日）： 1993年11月16日
要約：
【要約】【目的】AFMの取り付け機構に取り付ける際の取り付け作業が容易に行え、取扱い時のカンチレバーおよび探針の保護が可能な原子間力顕微鏡用マイクロカンチレバーチップを提供することにある。【構成】マイクロカンチレバーチップ本体1の端面に、これに対して外側に延出するようにカンチレバー2が形成され、このカンチレバー2に探針3が形成されたマイクロカンチレバーチップに、この保護を兼ねた断面ほぼL形の治具4が装着されたもの。
請求項（抜粋）：
マイクロカンチレバーチップ本体の端面に、これに対して外側に延出するようにカンチレバーが形成され、このカンチレバーに探針が形成されたマイクロカンチレバーチップと、このマイクロカンチレバーチップを載せた基台と、この基台から突出した保護用の突出部とを有する原子間力顕微鏡用マイクロカンチレバーチップ。
IPC (2件)：
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