走査型プローブ顕微鏡、レバーホルダー、調整治具

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-105431
公開番号（公開出願番号）：特開平9-015250
出願日： 1996年04月25日
公開日（公表日）： 1997年01月17日
要約：

【要約】【課題】振動の影響を受け難い走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】カンチレバーチップ10は、探針16を先端に持つカンチレバー14が支持部12から延びている。チップ10を保持するレバーホルダー18は、支持部12を受ける凹部22を設けたホルダー本体20と、これを押さえる板バネ24を有している。支持部12は位置決め後にネジ26を締め付け固定される。この作業は装着前に行ない、装着時にはチップ10はホルダー18に対して適切な位置に固定されている。ホルダー18を装着するヘッド38は、ベース58に支持されたスキャナー56の自由端に固定されている。ヘッド本体40は、ホルダー18を引き付けるマグネット44が埋め込まれ、ホルダー18の位置を定める当付面42a、42b、42cが形成され、変位検出光学系を構成するレーザーモジュール52とフォトダイオード54が取り付けられている。

請求項（抜粋）：

支持部から延びたカンチレバーの先端に探針を備えたカンチレバーチップと、カンチレバーチップを保持するレバーホルダーであって、独立した三方向を向いた三つの基準面を持つホルダー本体と、カンチレバーチップの支持部をホルダー本体に固定する手段とを備え、カンチレバーチップはカンチレバーの先端が三つの基準面に対して所定の位置に来るように予め位置決めされているレバーホルダーと、カンチレバーの先端の変位を検出する変位検出光学系と、ホルダー本体の基準面を当て付ける三つの当付面を持つホルダー取付部材であって、これらの当付面はカンチレバーの先端が変位検出光学系の照準位置に来るように位置決めされている、ホルダー取付部材と、ホルダー取付部材に当て付けたレバーホルダーを保持するホルダー保持手段とを備えており、これにより変位検出光学系に対してカンチレバーの位置を調整する機構を持たない、走査型プローブ顕微鏡。

IPC (4件)：

G01N 37/00 , G01B 11/00 , G01B 21/30 , H01J 37/28

FI (4件)：

G01N 37/00 A , G01B 11/00 F , G01B 21/30 Z , H01J 37/28 Z

引用特許：

出願人引用 (5件)

原子間力顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-042862 出願人：日本電子株式会社
特開平3-251705
プローブ顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-067130 出願人：セイコー電子工業株式会社

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審査官引用 (6件)

プローブ顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-067130 出願人：セイコー電子工業株式会社
原子間力顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-042862 出願人：日本電子株式会社
特開平3-251705

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