放射線検出器及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-276794
公開番号（公開出願番号）：特開2003-084068
出願日： 2001年09月12日
公開日（公表日）： 2003年03月19日
要約：

【要約】【課題】この発明は複数の検出素子を精度よくマトリックス状に配置することができるようにした放射線検出器を提供することにある。【解決手段】両主面に互いに平行な複数の電極部を有する電極パターン3が形成された配線基板2と、一方の主面上に形成された前記電極部に対して各々電気的に接続され互いに平行に設けられる放射線により電気特性が変化する複数の検出素子4と、前記複数の電極部を横断する方向に延設されるよう前記配線基板上に設けられる少なくとも一つの補強部材5,6と、を備える複数の検出器モジュールについて、前記配線基板の他方の主面上に形成された前記電極部に他の検出器モジュール1上に配設された検出素子が互いに平行になるよう電気的に接続されるよう積層されている。

請求項（抜粋）：

両主面に互いに平行な複数の電極部を有する電極パターンが形成された配線基板と、一方の主面上に形成された前記電極部に対して各々電気的に接続され互いに平行に設けられる放射線により電気特性が変化する複数の検出素子と、前記複数の電極部を横断する方向に延設されるよう前記配線基板上に設けられる少なくとも一つの構造部材と、を備える複数の検出器モジュールについて、前記配線基板の他方の主面上に形成された前記電極部に他の検出器モジュール上に配設された検出素子が互いに平行になるよう電気的に接続されるよう積層されていることを特徴とする放射線検出器。

IPC (5件)：

G01T 1/24 , G01T 7/00 , H01L 27/14 , H01L 31/09 , H04N 5/32

FI (6件)：

G01T 1/24 , G01T 7/00 A , H04N 5/32 , H01L 31/00 A , H01L 27/14 D , H01L 27/14 K

Fターム (31件)：

2G088EE01 , 2G088EE29 , 2G088FF02 , 2G088FF04 , 2G088GG21 , 2G088JJ05 , 2G088JJ09 , 2G088JJ23 , 2G088JJ32 , 2G088JJ33 , 2G088JJ37 , 4M118AA10 , 4M118AB01 , 4M118BA05 , 4M118CA14 , 4M118CB05 , 4M118FB09 , 4M118GA10 , 4M118HA20 , 4M118HA24 , 4M118HA27 , 5C024AX11 , 5C024EX21 , 5F088AB09 , 5F088BA16 , 5F088BA18 , 5F088BB03 , 5F088BB07 , 5F088EA04 , 5F088JA20 , 5F088LA07

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭60-086481
放射線半導体検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-081843 出願人：株式会社東芝
特開昭63-182870

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