薄板移載装置およびフラットディスプレイの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：山本秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-140786
公開番号（公開出願番号）：特開2000-332082
出願日： 1999年05月20日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：

【要約】【課題】搬送用カセットの受け駒との接触による薄板の割れを防ぐと共に、搬送用カセットへの挿入作業時間を大幅に短縮してフラットディスプレイの生産性の向上を図る。【解決手段】薄板載置部のくし歯1の先端にその移動方向と略直交する方向の溝2を設け形成し、溝2に着脱自在な棒状プロテクトバー4を設置して、搬送世カセットに薄板5を挿入する際に受け駒6と薄板1が接触しないようにする。プロテクトバー4が溝2から外れないように、溝2の片側または両側に溝2に沿った突起3を設けてもよい。プロテクトバー4の断面形状は円柱状にしてもよいが、三角形を含む多角形にすれば、プロテクトバー4を溝2から外れ難くすることができる。

請求項（抜粋）：

フラットディスプレイを構成する薄板を搬送用カセットに挿入するための薄板移載装置であって、該薄板を載置して搬送用カセットに挿入するくし歯状載置部を有し、該載置部のくし歯の先端にその移動方向と略直交する方向の溝が設けられ、さらに、該溝に着脱自在な棒状プロテクトバーが設置されている薄板移載装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , B65G 49/06 , G02F 1/13 101

FI (3件)：

H01L 21/68 A , B65G 49/06 Z , G02F 1/13 101

Fターム (10件)：

2H088FA17 , 2H088FA30 , 2H088MA20 , 5F031CA05 , 5F031DA01 , 5F031DA08 , 5F031FA09 , 5F031FA11 , 5F031GA30 , 5F031PA30

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