防食剤

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金田暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-196511
公開番号（公開出願番号）：特開2002-097584
出願日： 2001年06月28日
公開日（公表日）： 2002年04月02日
要約：

【要約】【課題】銅等の腐食しやすい金属の腐食を防止し、しかも安全性が高く、使用後の廃水の処理が容易な防食液組成物を提供すること。【解決手段】半導体ウェーハ上に形成された金属膜の腐食を防止する防食剤であって、防食成分として、窒素原子を含む六員環を有する複素環式化合物を含有することを特徴とする防食剤。

請求項（抜粋）：

半導体ウェーハ上に形成された金属膜の腐食を防止する防食剤であって、防食成分として、窒素原子を含む六員環を有する複素環式化合物を含有することを特徴とする防食剤。

IPC (3件)：

C23F 11/14 101 , H01L 21/304 622 , H01L 21/3205

FI (3件)：

C23F 11/14 101 , H01L 21/304 622 D , H01L 21/88 B

Fターム (47件)：

4K062AA03 , 4K062BB12 , 4K062BB14 , 4K062BB18 , 4K062CA10 , 4K062DA05 , 4K062FA09 , 4K062GA01 , 5F033HH11 , 5F033HH18 , 5F033HH19 , 5F033HH21 , 5F033HH28 , 5F033HH32 , 5F033HH33 , 5F033HH34 , 5F033JJ18 , 5F033JJ19 , 5F033JJ33 , 5F033KK11 , 5F033KK19 , 5F033KK21 , 5F033KK28 , 5F033KK32 , 5F033KK33 , 5F033KK34 , 5F033MM01 , 5F033MM12 , 5F033MM13 , 5F033NN06 , 5F033NN07 , 5F033PP06 , 5F033PP15 , 5F033PP27 , 5F033PP28 , 5F033QQ09 , 5F033QQ11 , 5F033QQ25 , 5F033QQ37 , 5F033QQ48 , 5F033QQ50 , 5F033QQ92 , 5F033RR04 , 5F033RR06 , 5F033TT02 , 5F033XX18 , 5F033XX21

引用特許：

審査官引用 (1件)

化学機械研磨用水系分散体
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-098094 出願人：ジェイエスアール株式会社

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