特許
J-GLOBAL ID：200903082950186455
処理システムにおけるアラーム方法及びアラーム装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
中本 菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-250217
公開番号（公開出願番号）：特開平9-073592
出願日： 1995年09月04日
公開日（公表日）： 1997年03月18日
要約：
【要約】【課題】 標準アラームファイルと特殊アラームファイルとを有するアラームファイル管理の簡素化を図ること。【解決手段】 レジスト塗布装置6の17内のレジスト量が不足したときには、18からOFF状態の信号がブロックコントローラ14に入力する。ブロックコントローラ14はレジスト不足の旨を通信回線でメインコントローラ19に送信する。受信情報に基づき、メインコントローラ19は、内蔵の記憶装置に記憶された標準アラームファイルと特殊アラームファイルとを検索し、同一データ項目については特殊アラームファイルを優先した内容のアラーム情報を作成し、このアラーム情報をモニター20、シグナルタワー21、ブザー22等に出力し、シグナルタワー21を点灯させたりする。
請求項（抜粋）：
処理システムの被アラーム対象からのアラーム信号が入力されたときに、このアラーム信号に対応したアラーム情報を記憶装置から検索して、アラーム情報を出力する処理システムにおけるアラーム方法において、標準仕様のアラーム情報をファイルした標準アラームファイルと特殊仕様のアラーム情報をファイルした特殊アラームファイルとを記憶装置に設けておき、入力されたアラーム信号に基づいて該当するアラーム情報を上記記憶装置の標準アラームファイルと特殊アラームファイルとから検索し、検索した標準アラームファイルと特殊アラームファイルのアラーム情報の同一のデータ項目については特殊アラームファイルの内容を優先させて書き換えたアラーム情報を出力するようにしたことを特徴とする処理システムにおけるアラーム方法。
IPC (2件)：
G08B 23/00 510
, G05B 23/02 301
G08B 23/00 510 Z
, G05B 23/02 301 Y
