特許

J-GLOBAL ID：200903082954759808

研磨具およびこれを用いた研磨方法

発明者： 西尾 憲一 ,  佐藤 一秀
出願人/特許権者： 日本ジーシー工業株式会社 ,  住友化学工業株式会社
代理人 (1件)： 深井 敏和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-098442
公開番号（公開出願番号）：特開2001-277140
出願日： 2000年03月31日
公開日（公表日）： 2001年10月09日
要約：

【要約】【課題】 柔軟な研磨シートを硬質の研磨材と同様にして使用できる研磨具とおよびこれを用いた研磨方法を提供することである。【解決手段】 本発明の研磨具は、ホルダー1の先端12を含む表面から裏面にかけて突起4,4によって溝形の研磨シート貼着領域3が形成されており、この貼着領域3に研磨シート2を貼着したものである。使用にあたっては、研磨シート2を貼着したホルダー1の先端を被研磨材に接触させ、垂直から水平までの任意な角度で被研磨材を研磨する。

請求項（抜粋）：

先端を含む表面から裏面にかけて溝形の研磨シート貼着領域が形成されたホルダーと、前記研磨シート貼着領域に貼着される研磨シートとを備えた研磨具。

IPC (2件)：

B24D 15/02 ,  B24D 15/00

FI (2件)：

B24D 15/02 C ,  B24D 15/00 Z

Fターム (5件)：

3C063AA10 ,  3C063AB07 ,  3C063BG06 ,  3C063BH07 ,  3C063EE32