特許

J-GLOBAL ID：200903082958779803

自動搬送装置

発明者： 清水 房生
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 木内 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-148228
公開番号（公開出願番号）：特開平8-316288
出願日： 1995年05月23日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：

【要約】【目的】 部品点数を削減してコストを低減し、かつ処理時間の短縮を図った自動搬送装置を提供する。【構成】 複数のガラス基板を収納するケースと、載物台を有する処理部と、基板を保持するフォーク11を有し、ケースからフォークにより取り出した基板を処理部へ搬送し、処理が終了した基板をフォークにより受け取ってケースまで搬送し、ケース内へ収納させる搬送ロボット10と、ロボット10に移動指令を与えるコントローラ20と、載物台に載置された基板の位置ずれ量及び傾き角度を検出するセンサ30とを備える。コントローラ20は、基板がケースから取り出される時と同じ位置及び姿勢でケース内へ収納されるように、フォーク11の位置及び傾きをセンサ30の検出値に基づいて補正するための移動指令を、基板を載物台から受け取る時にロボット10へ与える。

請求項（抜粋）：

複数の偏平物体を収納するケースと、前記偏平物体が載置される載物台を有する処理部と、前記偏平物体を保持する保持部材を有し、前記ケースから前記保持手段により取り出した前記偏平物体を前記処理部へ搬送し、前記処理部による処理が終了した前記偏平物体を前記保持部材により受け取って前記ケースまで搬送し、かつ前記ケース内へ収納させる搬送ロボットと、前記搬送ロボットに移動指令を与えるロボット制御部と、前記処理部又はその近傍に設けられ、前記載物台に載置された基板の基準位置に対する位置ずれ量及び傾き角度を検出する位置検出手段とを備え、前記ロボット制御部は、前記偏平物体が前記ケースから取り出される時と同じ位置及び姿勢で前記ケース内へ収納されるように、前記搬送ロボットの前記保持部材の位置及び傾きを前記検出手段の検出値に基づいて補正するための移動指令を、前記偏平物体を前記処理部の前記載物台から受け取る時又は前記ケース内へ収納する直前に前記搬送ロボットへ与えるように構成されていることを特徴とする自動搬送装置。

IPC (7件)：

H01L 21/68 ,  B25J 5/00 ,  B65G 49/07 ,  G01N 21/88 ,  G02F 1/13 101 ,  H05K 13/02 ,  G01N 35/04

FI (8件)：

H01L 21/68 A ,  B25J 5/00 E ,  B65G 49/07 C ,  G01N 21/88 E ,  G01N 21/88 F ,  G02F 1/13 101 ,  H05K 13/02 T ,  G01N 35/04 E