特許

J-GLOBAL ID：200903082966221633

液体用流量センサ

発明者： 井上 眞一 ,  山岸 喜代志
出願人/特許権者： 三井金属鉱業株式会社
代理人 (1件)： 伊東 辰雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-260893
公開番号（公開出願番号）：特開平8-105775
出願日： 1994年10月03日
公開日（公表日）： 1996年04月23日
要約：

【要約】【目的】 泡付着による測定精度の低下を防止し、液体の流量を安定して測定できるようにする。【構成】 流量が測定される液体に接するカバー2と、このカバー内に配置され、前記液体により前記カバーを介して熱が奪われる発熱源と、前記カバー内において前記発熱源の近傍に配置した測温素子とを備えた液体用流量センサにおいて、前記カバーの前記液体に接する部分に無機酸化物3を被覆する。

請求項（抜粋）：

流量が測定される液体に接するカバーと、このカバー内に配置され、前記液体により前記カバーを介して熱が奪われる発熱源と、前記カバー内において前記発熱源の近傍に配置した測温素子とを備えた液体用流量センサにおいて、前記カバーの前記液体に接する部分に無機酸化物を被覆したことを特徴とする液体用流量センサ。