特許
J-GLOBAL ID：200903082972857540
基板保持具
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-298288
公開番号（公開出願番号）：特開2000-124297
出願日： 1998年10月20日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
要約：
【要約】【課題】 汚染物質の発生を抑制しつつ、基板を安定して保持することができる基板保持具を提供する。【解決手段】 保持部93には保持溝93aが形成されており、保持溝93aは、溝底部から基板が挿入される開口側に向けて保持溝93aの幅が漸次広くなるように相対向して形成された断面V字形状の1対の平面93bを備えている。また、1対の平面93bが成す開き角度αは2 ゚以上28 ゚以下となるようにされている。さらに、1対の平面93bはデュロメーター硬さ80以下または動摩擦係数0.22以下の材料で形成されている。保持部93に保持された基板の倒れが小さくなり、複数の基板を保持している場合であっても基板が相互に接触することなく安定して保持されることとなり、また、基板と平面93bとの摩擦による発塵が低減され、パーティクル等の汚染物質の発生を抑制することができる。
請求項（抜粋）：
保持溝に基板の外縁部を嵌合させて当該基板を保持する基板保持具であって、前記保持溝は、開き角度2 ゚以上28 ゚以下となる断面V字形状の1対の平面を有し、前記平面は、基板と接触するときの防塵性を有する材料で形成されていることを特徴とする基板保持具。
FI (2件)：
H01L 21/68 N
, H01L 21/68 V
5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031CA07
, 5F031EA06
, 5F031FA01
, 5F031FA09
, 5F031FA12
, 5F031FA19
, 5F031HA42
, 5F031HA45
, 5F031HA73
, 5F031HA74
, 5F031MA23
, 5F031PA16
, 5F031PA26
