特許

J-GLOBAL ID：200903082984698935

2次元光偏向器及びこれを用いた画像表示装置

発明者： 菅原 孝
出願人/特許権者： 日本ビクター株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-007681
公開番号（公開出願番号）：特開2009-258645
出願日： 2009年01月16日
公開日（公表日）： 2009年11月05日
要約：

【課題】高解像度の画像が得られ、1画像当たりのフレームレートに応じて走査スピードの調整が可能で耐衝撃性を有する2次元光偏向器及びこれを用いた画像表示装置を提供する。【解決手段】2次元光偏向器100は、樹脂を含み光Lを一方向に偏向する偏向素子10とSiを含み光Lを他方向に偏向する偏向素子50とを備える。偏向素子10は、対向配置された一対の端子部13,14、その間に配置された偏向部11、及びこれらを連結する梁部16,17を有する。偏向素子50は、枠状の支持部11、その枠内に配置されてミラー部63を有する偏向部53、その両側に配置され支持部11に一端が連結され互いに対向配置されたアーム54,55及び56,57、アーム54,55及び56,57の他端と偏向部11とを連結する梁部58,59及び60,61を有する。偏向部11,53の各重心は光Lの光路上に位置する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

2次元光偏向器において、 樹脂を含み、外部から照射された光を一方向に偏向する第1の光偏向素子と、 Si(シリコン)を含み、前記光を前記一方向との異なる他の方向に偏向する第2の光偏向素子と、 を備え、 前記第1の光偏向素子は、 互いに離間して対向配置された一対の端子部と、 前記一対の端子部間に配置された第1の偏向部と、 前記第1の偏向部と前記一対の端子部とをそれぞれ連結する一対の第1の梁部と、 を有し、 前記第2の光偏向素子は、 前記第1の偏向部上に固定された枠状の支持部と、 前記支持部の枠内に前記第1の偏向部と離間して配置され、前記光を反射するミラー部を有する第2の偏向部と、 前記第2の偏向部の両側に配置され、前記支持部に一端がそれぞれ連結された一対の第1のアーム部と、 前記第2の偏向部の両側に前記第1のアーム部に対向して配置され、前記支持部に一端がそれぞれ連結された一対の第2のアーム部と、 前記第1のアーム部の各他端と前記第2の偏向部とをそれぞれ連結する一対の第2の梁部と、 前記第2のアーム部の各他端と前記第2の偏向部とをそれぞれ連結し、前記第2の梁部とそれぞれ所定の間隙を有して対向配置された一対の第3の梁部と、 を有し、 前記第1の偏向部の重心及び前記第2の偏向部の重心は、前記光の光路上に位置することを特徴とする2次元光偏向器。

IPC (3件)：

G02B 26/10 ,  G02B 26/08 ,  H04N 5/74

FI (4件)：

G02B26/10 104Z ,  G02B26/10 C ,  G02B26/08 E ,  H04N5/74 H

Fターム (33件)：

2H045AB13 ,  2H045AB16 ,  2H045AB24 ,  2H045AB38 ,  2H045AB73 ,  2H045BA13 ,  2H045DA02 ,  2H045DA41 ,  2H141MA12 ,  2H141MB24 ,  2H141MC05 ,  2H141MC09 ,  2H141MD13 ,  2H141MD16 ,  2H141MD20 ,  2H141MD24 ,  2H141ME25 ,  2H141MF03 ,  2H141MF10 ,  2H141MF21 ,  2H141MG04 ,  2H141MG06 ,  2H141MG07 ,  2H141MZ06 ,  2H141MZ13 ,  2H141MZ16 ,  2H141MZ19 ,  2H141MZ23 ,  2H141MZ26 ,  5C058BA01 ,  5C058EA02 ,  5C058EA13 ,  5C058EA23