特許

J-GLOBAL ID：200903082995749175

酸分解性重合体及びその製造方法

発明者： 山本 喜博 ,  須永 忠弘
出願人/特許権者： 三井化学株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-295824
公開番号（公開出願番号）：特開平11-130844
出願日： 1997年10月28日
公開日（公表日）： 1999年05月18日
要約：

【要約】【課題】 レジスト材として用いられるのに必要な諸物性を満足し、しかも狭い分子量分布を有する新規な酸分解性重合体を提供し、かつその製造方法を提供する。【解決手段】 構造単位として酸分解性基を有し、重量平均分子量Mwと数平均分子量Mnとの比(Mw/Mn)が1.0〜2.0であり、かつGPCで測定したポリスチレン換算の数平均分子量が500〜100,000であることを特徴とする酸分解性重合体であり、エステル基を有する環状オレフィン系単量体をリビング開環メタセシス触媒で重合し、水素添加触媒のもとに水素添加した後、エステル基の少なくとも一部を加水分解し、更にビニルエーテル類と反応させることによって製造する。

請求項（抜粋）：

一般式(1)【化1】(式中、R1は酸により分解する基であり、R2〜R4はそれぞれ水素、炭素数1〜20のアルキル、ハロゲン、ハロゲン化アルキル、またはニトリルから選ばれ、mは0または1〜3の整数、xは0または1を表す。)または、一般式(2)【化2】(式中、R1,R5はそれぞれ酸により分解する基であり、R2,R3はそれぞれ水素、炭素数1〜20のアルキル、ハロゲン、ハロゲン化アルキル、またはニトリルから選ばれ、mは0または1〜3の整数、x,yはそれぞれ0または1を表す。)で表される構造単位を有し、重量平均分子量Mwと数平均分子量Mnとの比(Mw/Mn)が1.0〜2.0であり、かつGPCで測定したポリスチレン換算の数平均分子量が500〜100,000であることを特徴とする酸分解性重合体。

IPC (2件)：

C08G 61/08 ,  G03F 7/039 601

FI (2件)：

C08G 61/08 ,  G03F 7/039 601