特許
J-GLOBAL ID：200903082997283386
リークテスト方法および装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (2件)：
岡田 英彦 (外3名)
, 岡田 英彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-335793
公開番号（公開出願番号）：特開平10-123005
出願日： 1996年12月16日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：
【要約】【課題】 リークテスト方法および装置に関し、リークのない良好なワークや大きな差圧の計測を必要とすることなく、ワークに導入した加圧気体が洩れるか否かをより的確に判別できるようにする。【解決手段】 任意のワーク22を設置した後、バルブ12,14,16を開けてワーク22とマスタ28とに加圧気体を導入し、そのバルブ12を閉じた後バルブ16を開けてワーク22とマスタ28との間の圧力の平衡をとる。次に、バルブ14,16を閉じた後に第1の差圧変化量を求める。そして、ドリフト量算出手段30によって開閉制御手段26を制御し、バルブ20の開閉を所定のタイミングごとに行う。その後に第2の差圧変化量を求める。このとき差圧センサ18の出力はそれほど大きくならなず、第1の差圧変化量と第2の差圧変化量との差もそれほど大きくない。そのためドリフト量はより正確な値になり、リークの有無もより正確に判断できる。
請求項（抜粋）：
マスタとワークとに加圧気体を導入し、そのマスタとワークとの間に発生する差圧を差圧センサによって計測し、その計測値から単位時間当たりの差圧変化量を求め、その差圧変化量をドリフト量で補正し、その補正結果に基づいてワークから加圧気体が洩れているか否かを判別するリークテスト方法において、単位時間当たりの第1の差圧変化量を求める工程と、第1の差圧変化量を求めた後に、マスタとワークとの間の圧力を平衡にするとともに、差圧センサの出力を零に較正する工程と、差圧センサの出力を零に較正した後に、単位時間当たりの第2の差圧変化量を求める工程と、第1の差圧変化量と第2の差圧変化量とに基づいて、前記ドリフト量を算出する工程と、を有することを特徴とするリークテスト方法。
引用特許：
前のページに戻る
