特許
J-GLOBAL ID:200903082999772201

パタン形成方法、光学部品、及び、光学部品の製作方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 谷 義一 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-356260
公開番号(公開出願番号):特開2003-156614
出願日: 2001年11月21日
公開日(公表日): 2003年05月30日
要約:
【要約】【課題】 紫外線硬化樹脂のプラスチック材に微細で高アスペクトの微細なパタンを形成する方法、及びそのようなパタンを備える光学部品、並びに、その製造方法を提供すること。【解決手段】 パタン形成方法を、基板上に感光性樹脂のパタンを形成し、感光性樹脂のパタン上に紫外線硬化樹脂層を密着させて形成して紫外線硬化樹脂層に感光性樹脂のパタンを転写させ、その紫外線硬化樹脂層に紫外線を照射して硬化させた後に紫外線硬化樹脂層を基板から剥離する構成とした。また、このパタン形成方法でパタン形成された紫外線硬化樹脂層を光学構造材に備えて光学部品を構成することとした。
請求項(抜粋):
基板上に感光性樹脂のパタンを形成する第1の工程と、該感光性樹脂のパタン上に紫外線硬化樹脂層を密着させて形成し該紫外線硬化樹脂層に前記感光性樹脂のパタンを転写させる第2の工程と、該パタン転写された紫外線硬化樹脂層に紫外線を照射して硬化させる第3の工程と、該硬化した紫外線硬化樹脂層を前記基板から剥離する第4の工程とを少なくとも備えることを特徴とする紫外線硬化樹脂層のパタン形成方法。
IPC (5件):
G02B 5/18 ,  B29C 39/02 ,  B29C 39/10 ,  G03F 7/40 521 ,  B29L 11:00
FI (5件):
G02B 5/18 ,  B29C 39/02 ,  B29C 39/10 ,  G03F 7/40 521 ,  B29L 11:00
Fターム (23件):
2H049AA03 ,  2H049AA07 ,  2H049AA13 ,  2H049AA33 ,  2H049AA37 ,  2H049AA43 ,  2H049AA48 ,  2H049AA51 ,  2H049AA55 ,  2H096AA28 ,  2H096BA05 ,  2H096HA07 ,  2H096JA04 ,  4F204AA44 ,  4F204AD04 ,  4F204AG05 ,  4F204AH73 ,  4F204EA03 ,  4F204EA04 ,  4F204EB01 ,  4F204EB11 ,  4F204EK17 ,  4F204EK18

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