特許

J-GLOBAL ID：200903083002436025

基板の位置/存在を検出するための共有センサ

発明者： クリタ シンイチ
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 安齋 嘉章
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-516134
公開番号（公開出願番号）：特表2005-531150
出願日： 2003年06月20日
公開日（公表日）： 2005年10月13日
要約：

半導体処理ツールの搬送チャンバは、複数の処理及び/又はロードロックチャンバに連結して用いられる。小数の基板センサが搬送チャンバ内に設けられ、これによって処理及び/又はロードロックチャンバに対する基板の存在及び/又は位置が確認される。一の実施例において、各々の処理及び/又はロードロックチャンバは隣接しているチャンバ及び隣接していないチャンバとセンサを共有することができる。

請求項（抜粋）：

少なくとも一の処理チャンバと少なくとも一のロードロックチャンバを含む他の複数のチャンバと連結されて用いられる搬送チャンバと、 基板を他のチャンバのうちの第1チャンバにロードするように配置されていることを示すため搬送チャンバ内に配置されている第1センサグループと、 基板を他のチャンバのうちの第2チャンバにロードするように配置されていることを示すため搬送チャンバ内に配置されている第2センサグループとを備え、 他のチャンバのうちの第2チャンバは他のチャンバのうちの第1チャンバと隣接しておらず、

IPC (2件)：

H01L21/02 ,  H01L21/68

FI (2件)：

H01L21/02 Z ,  H01L21/68 L

Fターム (12件)：

5F031CA05 ,  5F031JA06 ,  5F031JA17 ,  5F031JA22 ,  5F031JA25 ,  5F031JA36 ,  5F031MA04 ,  5F031MA28 ,  5F031MA30 ,  5F031MA32 ,  5F031NA05 ,  5F031NA07

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-286098   出願人：東京エレクトロン株式会社