特許
J-GLOBAL ID：200903083002812132
鏡面仕上げ用パッドのドレッシング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-015613
公開番号（公開出願番号）：特開平5-208361
出願日： 1992年01月31日
公開日（公表日）： 1993年08月20日
要約：
【要約】【目的】磁気ディスク用基板の表面を鏡面仕上げするパッドが、砥粒によって目詰まりしたのを完全、迅速に解消する。【構成】ブロック状のホルダ1に、円柱状に束ねられた回転ブラシ2の3個が並設され、各軸線の回りに回転される。同時にホルダ1は、図示してない往復駆動部によって長手方向に往復直進される。回転ブラシ2の上下の各先端部が、図示してない上下対向形の回転定盤の各表面に貼着される鏡面仕上げ用パッドに対し、往復直進と回転とに基づく複雑な運動によってしゅう動し、パッド表面に詰まった砥粒を除去、つまり目詰まりを解消する。なお、ホルダ1に付設されたノズル3から砥粒排出用の液体が噴射されて目詰まり解消を支援する。
請求項（抜粋）：
回転定盤に取り付けられ、平板状ワークの表面を鏡面仕上げするパッドの、砥粒による目詰まりを解消する装置であって、軸線の回りに回転され、この軸線と平行な毛様部材の集合体として形成される回転ブラシと;この回転ブラシの1個または複数個を、その各軸線が平行になるように並べて軸支するとともに、この各軸線と直角に往復運動するホルダと;を備え、前記パッドの表面に対し、前記回転ブラシの各毛様部材の先端部を、前記回転ブラシの回転と前記ホルダの往復運動とに基づき、しゅう動させる構成にしたことを特徴とする鏡面仕上げ用パッドのドレッシング装置。
IPC (5件)：
B24B 37/00
, B24B 29/00
, B24B 53/007
, B24B 55/06
, G11B 5/84
