特許

J-GLOBAL ID：200903083003389187

誘電体バリヤ放電ランプを使用した洗浄方法

発明者： 松野 博光 ,  五十嵐 龍志 ,  平本 立躬
出願人/特許権者： ウシオ電機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-123160
公開番号（公開出願番号）：特開平6-312130
出願日： 1993年04月28日
公開日（公表日）： 1994年11月08日
要約：

【要約】【目的】 大面積の被処理物を均一に、かつ高速で洗浄出来る洗浄方法を提供することである。【構成】 被洗浄物を酸素雰囲気下に配置し、放電用ガスとしてキセノン、あるいは、アルゴンと塩素の混合ガスを含んだガスを用い、nm単位で表した波長範囲165から190、もしくは、120から190の少なくとも一つの波長範囲に放射光を有する誘電体バリヤ放電ランプから放射される紫外線で該被洗浄物を照射して該被洗浄物を洗浄する。

請求項（抜粋）：

被洗浄物を酸素雰囲気下に配置し、放電用ガスとしてキセノン、あるいは、アルゴンと塩素の混合ガスを含んだガスを用い、nm単位で表した波長範囲165から190、あるいは、120から190の少なくとも一つの波長範囲に放射光を有する誘電体バリヤ放電ランプから放射される紫外線で該被洗浄物を照射して該被洗浄物を洗浄する事を特徴とする誘電体バリヤ放電ランプを使用した洗浄方法。

IPC (7件)：

B01J 19/12 ,  B08B 7/00 ,  C03C 23/00 ,  C04B 41/91 ,  C08J 7/00 303 ,  H01J 61/16 ,  H01L 21/304 341

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-144560
  
• 特開平2-280831
  
• 特開平2-299287