特許
J-GLOBAL ID：200903083007283740
膜厚測定装置の校正方法および膜厚測定装置および校正用部材
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小谷 悦司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-263520
公開番号（公開出願番号）：特開2001-091222
出願日： 1999年09月17日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：
【要約】【課題】 装置の校正作業を必要に応じて簡単に、効率良く行う。【解決手段】 装置本体1内に配置した移動可能な測定ヘッド2の直下に基板Sを配置し、装置本体1に形成された測定用開口1aを介して基板Sに照明光を照射しつつその反射光を測定ヘッド2により受光し、その反射光に基づいて基板Sに形成された薄膜の膜厚を測定するようにした。また、装置本体1の内部であって測定用開口1aの側方にキャリブレーションチップ9(校正用部材)を設け、必要に応じこのチップ9の上方に測定ヘッド2を配置し、このチップ9に照明光を照射しつつその反射光を受光することにより、その反射光に基づいて装置校正に必要な校正データを求めるようにした。チップ9には、テストチャート等、装置校正に必要な情報を表示するようにした。
請求項（抜粋）：
測定位置にセットされ、その表面に薄膜が形成された被測定基板に照明光を照射する照明手段と、被測定基板で反射した反射光を検出する検出手段とを有し、検出手段による検出結果に基づいて前記薄膜の膜厚を測定する膜厚測定装置の校正方法であって、前記測定位置以外の場所に配置され、前記膜厚測定装置の校正に必要な校正情報を示す校正用部材に上記照明手段による照明光を照射して校正用部材で反射した反射光を検出手段により検出し、この検出結果に基づいて装置の校正に必要な校正データを求めることを特徴とする膜厚測定装置の校正方法。
Fターム (30件)：
2F065AA30
, 2F065BB03
, 2F065CC19
, 2F065CC31
, 2F065DD06
, 2F065EE00
, 2F065FF04
, 2F065FF41
, 2F065FF44
, 2F065FF61
, 2F065GG02
, 2F065HH04
, 2F065HH13
, 2F065JJ01
, 2F065JJ02
, 2F065JJ03
, 2F065JJ09
, 2F065JJ25
, 2F065JJ26
, 2F065LL10
, 2F065LL12
, 2F065LL30
, 2F065LL42
, 2F065LL46
, 2F065LL67
, 2F065MM03
, 2F065PP12
, 2F065QQ00
, 2F065QQ31
, 2F065RR07
