特許
J-GLOBAL ID：200903083007573195
多相交流多電極アーク放電を用いたプラズマ反応炉
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
戸川 公二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-056249
公開番号（公開出願番号）：特開平7-263193
出願日： 1994年03月25日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：
【要約】【目的】 多相交流多電極による平面状アーク放電によって得られる安定した、低流速、大容積プラズマを用いることで各種プラズマ反応を高能率に行うことが可能なプラズマ反応炉を提供すること。【構成】 多相交流をその相順に、先端部を正多角形の各頂点付近に位置せしめる如く略水平に配した放電電極へ右または左回り順に印加することにより多電極間に平面状アーク放電を生起せしめ、放電電極を内包する反応容器内に熱対流を生ぜしめるという手段を採用した。【効果】 自然発生する熱対流を積極的に利用することでプラズマ領域の拡大を図っているので、動作ガスを用いず至極簡単な設備で、低流速で、大容積なプラズマを安定的に形成でき、プラズマ中の各種粒子の反応時間を格段に長くとることが可能となる。
請求項（抜粋）：
n相交流を出力するn相交流電源と、先端部を正n角形の各頂点付近に配置した放電電極T1 〜Tn と、当該放電電極T1 〜Tn を内包し、下方より反応材料が導入される反応容器1とを含むプラズマ反応炉であって、前記放電電極T1 〜Tn を略水平に配置し、前記n相交流電源から出力されるn相交流をその相順に、この放電電極T1 〜Tn へ右または左回り順に印加することで放電電極T1 〜Tn 間においてアーク放電を生起し、反応容器1内部に熱対流を生ぜしめたことを特徴とする多相交流多電極アーク放電を用いたプラズマ反応炉。
引用特許：
前のページに戻る
