特許
J-GLOBAL ID：200903083007779010
感光性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-318647
公開番号（公開出願番号）：特開平6-167808
出願日： 1992年11月27日
公開日（公表日）： 1994年06月14日
要約：
【要約】【目的】 高分子化合物の親水性の度合い、または、水に対する溶解度を光化学的に変化せしめる方法を用いた感光性樹脂組成物を提供する。【構成】 (1) それ自体では親水性が低いか、または水不溶性であるが、酸性を有する化合物との共存下で酸塩基相互作用により親水性が高くなるか、または水溶性になるような性質を有する塩基性高分子化合物の少なくとも一種、(2) 本来酸性であって、光照射を受けることにより化学変化をおこして酸性を失うような酸性化合物の少なくとも一種、(3) 少なくとも一種のトリアジン誘導体及び(4)少なくとも一種の常温で非ガス状のエチレン性不飽和化合物を含有する。
請求項（抜粋）：
(1) それ自体では親水性が低いか、または水不溶性であるが、酸性を有する化合物との共存下で酸塩基相互作用により親水性が高くなるか、または水溶性になるような性質を有する塩基性高分子化合物の少なくとも一種、(2) 本来酸性であって、光照射を受けることにより化学変化をおこして酸性を失うような酸性化合物の少なくとも一種、(3) 下記の化1で示される少なくとも一種のトリアジン誘導体及び(4) 少なくとも一種の常温で非ガス状のエチレン性不飽和化合物を、含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】(式中R1 は、置換基を有するか有しない炭素数1〜6個のアルキル基、フェニル基、ナフチル基、アンスリル基、スチリル基を、Yは塩素原子または臭素原子をa,bは0〜3の整数を示し、ただし同時にa,bが0をとることはない。)
IPC (6件)：
G03F 7/038
, G03C 1/675
, G03F 7/004 503
, G03F 7/027
, G03F 7/029
, H01L 21/027
