特許
J-GLOBAL ID:200903083021903599
非伝導性酸化アルミニウム-炭化チタン、その製造方法、およびそれを組み込んだスライダーエレメント
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
青山 葆 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-291326
公開番号(公開出願番号):特開平5-294719
出願日: 1992年10月29日
公開日(公表日): 1993年11月09日
要約:
【要約】【構成】 実質的にTiC相とAl2O3相とから成ることにより特徴付けられる電気非伝導性Al2O3-TiC組成物。【効果】 低減されたチップ度数を示し、その結果、ウェハ収率に対してかなり高いスライダーエレメント収率とより低い生産コストを提供するAl2O3-TiC組成物が提供された。
請求項(抜粋):
実質的にTiC相とAl2O3相とから成ることにより特徴付けられる電気非伝導性Al2O3-TiC組成物。
IPC (3件):
C04B 35/10
, G11B 5/31
, G11B 5/60
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