特許

J-GLOBAL ID：200903083027435422

ポジ型感光性樹脂組成物

発明者： 河辺 保雅 ,  中尾 元
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 萩野 平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-280030
公開番号（公開出願番号）：特開2000-112130
出願日： 1998年10月01日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：

【要約】【課題】 深紫外線、特にArFエキシマレーザー光に対して、特に残膜率、レジストパターンプロファイル、解像力、ドライエッチング耐性に優れ、しかも現像欠陥の問題を生じないポジ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 環状脂肪族炭化水素骨格を有し、酸の作用により分解しアルカリ可溶性となる重合体、特定の構造の低分子化合物、活性光線の照射により酸を発生する化合物、含窒素塩基性化合物、フッ素系及び/またはシリコシ系界面活性剤、溶剤を含有するポジ型感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

(A)環状脂肪族炭化水素骨格を有し、酸の作用により分解しアルカリ可溶性となる重合体、(B)下記一般式(I)で表される化合物、(C)活性光線の照射により酸を発生する化合物、(D)含窒素塩基性化合物、(E)フッ素系及び/またはシリコシ系界面活性剤、並びに(F)溶剤を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】(一般式(I)において、R1、R2は各々独立にアルキル基を表し、また、R1とR2とが互いに結合して、炭素原子とともに環構造を形成していてもよい。R3、R4は、各々独立に、水素原子又は水酸基を表す。nは繰り返し数であって、1から5の整数を表す。)

IPC (3件)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (20件)：

2H025AA00 ,  2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CC03 ,  2H025CC04 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 短波長紫外線に感光するポジ型フォトレジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-185985   出願人：ヘキスト・セラニーズ・コーポレーション