特許

J-GLOBAL ID：200903083027575160

洗浄方法

発明者： 中井 寛 ,  佐伯 一丸 ,  西田 英夫 ,  空 利之 ,  宮川 守 ,  村岡 薫
出願人/特許権者： 神鋼パンテツク株式会社
代理人 (1件)： 角田 嘉宏 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-156471
公開番号（公開出願番号）：特開2002-353180
出願日： 2001年05月25日
公開日（公表日）： 2002年12月06日
要約：

【要約】【課題】 洗浄容器内で回転する被洗浄物を良好に洗浄しうる洗浄方法を提供すること。【解決手段】 超臨界状態とした洗浄流体が供給される洗浄容器1を備え、被洗浄物8を収容した保持具9を洗浄容器1内に有し、保持具9が回転可能で、超臨界状態の洗浄流体が保持具9を透過する。洗浄容器1の側壁4の内側面に、洗浄流体の流れを塞き止める邪魔板15aと15bを取りつけている。

請求項（抜粋）：

洗浄容器内の保持具に保持した被洗浄物を回転させつつ該洗浄容器内に導入した洗浄流体によって被洗浄物を洗浄する方法において、洗浄容器内に取り付けた邪魔板により洗浄流体の流れを塞き止めつつ洗浄することを特徴とする洗浄方法。

IPC (4件)：

H01L 21/304 642 ,  H01L 21/304 ,  B08B 3/04 ,  B08B 3/08

FI (4件)：

H01L 21/304 642 D ,  H01L 21/304 642 A ,  B08B 3/04 A ,  B08B 3/08 Z

Fターム (8件)：

3B201AA03 ,  3B201AA46 ,  3B201AB33 ,  3B201AB44 ,  3B201AB47 ,  3B201BB02 ,  3B201BB87 ,  3B201BB91