特許

J-GLOBAL ID：200903083030591958

表面弾性波素子

発明者： 簡 春雲 ,  乾 信一郎
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 小杉 佳男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-068370
公開番号（公開出願番号）：特開平10-270977
出願日： 1997年03月21日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：

【要約】【課題】本発明は、通信機器等に使用される周波数選別用のフィルタ、高安定度の発振器に使用される共振子等の素子等に使われる表面弾性波素子に関し、小さな遅延時間温度係数と比較的大きな電気機械結合係数を有し、化学的に安定な基板材料を持つ表面弾性波素子を提供する。【解決手段】ランガサイト基板を用い、ランガサイトの単結晶からの切り出し角度および表面弾性波伝搬方向を、オイラ角度表示で、(9°+α,150°+β,37°+γ)としたとき、α=-6°〜6°、β=-5°〜5°、γ=-5°〜5°とした。

請求項（抜粋）：

ランガサイト(La3 Ga5 SiO14)単結晶基板上に表面弾性波を励振、受信、もしくは反射するための金属薄膜を形成した表面弾性波素子において、ランガサイト基板の単結晶からの切り出し角度および表面弾性波伝搬方向が、オイラ角表示で、(9°+α,150°+β,37°+γ)としたとき、α=-6°〜6°、β=-5°〜5°、γ=-5°〜5°、またはこれと等価な方位であることを特徴とする表面弾性波素子。