窒化珪素セラミツクス接合用ガラス

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-301897
公開番号（公開出願番号）：特開平5-004876
出願日： 1991年11月18日
公開日（公表日）： 1993年01月14日
要約：

【要約】【目的】焼結助剤を含む窒化珪素セラミックスの接合用ガラスにおいて、接合強度を大きくし、また接合部分からのガス漏れや接合部分でのクラック発生を防止できるような接合用ガラスを提供することである。【構成】上記目的を達成するための接合用ガラスとして、被接合体である窒化珪素セラミックスの焼結助剤のうち少なくとも一種以上の成分と、窒化珪素とを接合剤のガラス成分中に含有させる。特にY2O3- Al2O3-SiO2-Si3N4 系のオキシナイトライドガラスが好ましい。この場合は、 Y2O3 、Al2O3 及び SiO2 の合計重量とSi3N4 の重量との比率を7:3〜9.5 : 0.5 とすることが好ましい。

請求項（抜粋）：