特許
J-GLOBAL ID：200903083032787914
異物検出装置および異物検出装置を含むプロセスライン
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-012528
公開番号（公開出願番号）：特開2000-214102
出願日： 1999年01月20日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：
【要約】【課題】 簡単で安価な異物検出装置、およびそれを含むプロセスラインを提供する。【解決手段】 本発明の異物検出装置は、主面を有する被検査物を受容するステージと、該ステージを搬送軸方向に搬送する搬送機構と、該搬送軸方向に搬送されている該ステージ上の該被検査物の該主面に平行な第1方向に第1光線を出射する第1投光光学系と、該ステージ上の該被検査物の該主面上を通過した該第1光線を受光する第1受光光学系と、該第1受光光学系が受光した該第1光線の強度をリアルタイムで検出し、該強度に応じた第1検出信号を出力する検出器と、該第1検出信号の大きさと規定値とを比較し、比較結果に基づいて異物の有無を示す異物検出信号を出力する、判定回路とを有する。
請求項（抜粋）：
主面を有する被検査物を受容するステージと、該ステージを搬送軸方向に搬送する搬送機構と、該搬送軸方向に搬送されている該ステージ上の該被検査物の該主面に平行な第1方向に第1光線を出射する第1投光光学系と、該ステージ上の該被検査物の該主面上を通過した該第1光線を受光する第1受光光学系と、該第1受光光学系が受光した該第1光線の強度をリアルタイムで検出し、該強度に応じた第1検出信号を出力する検出器と、該第1検出信号の大きさと規定値とを比較し、比較結果に基づいて異物の有無を示す異物検出信号を出力する、判定回路と、を有する、異物検出装置。
Fターム (18件)：
2G051AA01
, 2G051AA51
, 2G051AA65
, 2G051AA73
, 2G051AB01
, 2G051AC21
, 2G051BA01
, 2G051BA20
, 2G051BB01
, 2G051CA03
, 2G051CA07
, 2G051CB02
, 2G051CD07
, 2G051DA05
, 2G051DA13
, 2G051EA11
, 2G051EA14
, 2G051EA25
出願人引用 (2件)
-
微粒子検出方法およびその装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-061672
出願人：カシオ計算機株式会社
-
欠陥検査装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-025671
出願人：キヤノン株式会社
審査官引用 (2件)
-
微粒子検出方法およびその装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-061672
出願人：カシオ計算機株式会社
-
欠陥検査装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-025671
出願人：キヤノン株式会社
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