特許
J-GLOBAL ID：200903083033355937
走査電子顕微鏡における自動画像調整方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-345698
公開番号（公開出願番号）：特開平6-196117
出願日： 1992年12月25日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：
【要約】【目的】 画像評価信号のS/N比が増大し、自動画像調整の精度などを向上させることができる走査電子顕微鏡における自動画像調整方法を実現する。【構成】 信号局在判定ユニット15は、画像メモリー9に記憶された2次元の画像信号のうち、X,Y両方向について各画素の射影データを得るようにしている。さらに、信号局在判定ユニット15は、各画素番号ごとに積算された信号の累積データを得るようにしている。ユニット15は累積データに基づいて信号量の多い領域が試料の走査領域の内の一部分に偏在しているかを判断し、偏在していれば、その走査位置情報をコンピュータ11に供給する。コンピュータは供給された情報に基づいて走査信号発生回路6を制御する。その結果、信号量の多い試料領域で電子ビームの走査が行われ、その際、対物レンズ3の励磁強度をステップ状に変化させ、自動的な画像調整動作が行われる。
請求項（抜粋）：
特定の視野において、電子ビームの試料への照射条件をステップ状に変化させ、各ステップ状の照射条件ごとに試料への電子ビームの照射に基づいて得られた信号を評価して最適照射条件を選定し、該最適条件に電子ビームの照射条件を設定する自動画像調整ステップを行い、その後該特定視野の走査像を得るようにした走査電子顕微鏡において、特定方向への電子ビームの走査ごとの信号を積算し、積算データから積算信号強度の大きい部分が集中している走査領域を判定し、該判定した走査領域に特定視野を限定して前記自動画像調整ステップを行うようにした走査電子顕微鏡における自動画像調整方法。
IPC (3件)：
H01J 37/22
, H01J 37/153
, H01J 37/28
