特許

J-GLOBAL ID：200903083036264177

感光性ポリイミド組成物

発明者： 堀江 一之 ,  山下 俊
出願人/特許権者： 三菱化成株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-107914
公開番号（公開出願番号）：特開平5-302030
出願日： 1992年04月27日
公開日（公表日）： 1993年11月16日
要約：

【要約】【構成】下記式(I)で示される繰り返し単位からなるポリイミド化合物と溶媒とからなる感光性ポリイミド組成物。【化1】(式中、Rはアルキル基を示す。)【効果】本組成物は、スピンコート法やキャスト法により薄膜を形成でき、しかも高い架橋速度を有している。

請求項（抜粋）：

下記式(I)で示される繰り返し単位からなるポリイミド化合物と溶媒とからなる感光性ポリイミド組成物。【化1】(式中、Rはアルキル基を示す。)

IPC (7件)：

C08L 79/08 LRD ,  C08G 73/10 NTF ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/038 504 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312 ,  H05K 3/28