特許

J-GLOBAL ID：200903083037344360

洗浄方法および洗浄装置

発明者： 玉井 忠素 ,  池谷 陽一郎
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (1件)： 高橋 敬四郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-082234
公開番号（公開出願番号）：特開平6-295894
出願日： 1993年04月08日
公開日（公表日）： 1994年10月21日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 アルゴンを用い、微細な溝や穴などに付着した汚染物を除去する。【構成】 ある方向にほぼ等間隔で配列した複数のノズルから所定の吹き出し方向にアルゴン微粒子を含む流体を吹き出す工程と、前記ノズルから前記所定の方向とは異なる吹き出し方向に吹き出す工程と、前記吹き出し方向に被洗浄物を配置し、前記アルゴン微粒子を含む流体が前記被洗浄物の表面に当たるように前記複数のノズルと被洗浄物とを相対的に移動させる工程とを含む。また、複数のノズルをある方向にほぼ等間隔で配列し、アルゴン微粒子を含む流体を複数の異なる方向に吹き出すノズル装置と、前記アルゴン微粒子を含む流体の吹き出し方向に被洗浄物を支持し、前記ノズル装置と被洗浄物とを相対的に所定方向に移動させることのできる駆動手段と、前記ノズル装置と前記駆動手段を収容する真空容器と、前記真空容器内を排気できる排気手段とを有する。

請求項（抜粋）：

ある方向にほぼ等間隔で配列した複数のノズルから所定の吹き出し方向にアルゴン微粒子を含む流体を吹き出す工程と、前記ある方向にほぼ等間隔で配列した複数のノズルから前記所定の方向とは異なる吹き出し方向にアルゴン微粒子を含む流体を吹き出す工程と、前記吹き出し方向に被洗浄物を配置し、前記アルゴン微粒子を含む流体が前記被洗浄物の表面に当たるように前記複数のノズルと被洗浄物とを相対的に移動させる工程とを含む洗浄方法。

IPC (3件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  B08B 7/02

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-230030
  
• 特開平4-230030
  
• 特開平3-052682
  
• 特開昭62-262434