特許
J-GLOBAL ID：200903083048165352
原子間力顕微鏡及びそれを用いた情報処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-306269
公開番号（公開出願番号）：特開平6-129848
出願日： 1992年10月20日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：
【要約】【目的】 大気中における水の表面張力の影響を抑えた原子間力顕微鏡を提供する。【構成】 試料表面との間に作用する力によって変位可能な片持梁12の試料表面へ接近する向きの変形を抑制する構造部材11を設けた原子間力顕微鏡。【効果】 試料表面を覆う水の表面張力による片持梁12の急激な動きを制限でき、マイクロティップ13を試料表面に衝突させることなく接触させることが可能となり、試料の損傷が避けられる。
請求項（抜粋）：
試料表面との間に作用する力によって変位可能な弾性部材を有する原子間力顕微鏡において、上記弾性部材の試料表面へ接近する向きの変形を抑制する構造部材を具備することを特徴とする原子間力顕微鏡。
IPC (3件)：
G01B 21/30
, G11B 9/00
, H01J 37/28
