特許
J-GLOBAL ID：200903083061945766
レーザー加工装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奥山 尚一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-037779
公開番号（公開出願番号）：特開2001-225182
出願日： 2000年02月16日
公開日（公表日）： 2001年08月21日
要約：
【要約】【課題】 レーザビームを良好に整形して、金属電極のレーザエッチング加工が切れ味良く実施できるレーザ加工装置を提供する。【解決手段】 パルスレーザと、光強度空間分布を整形するレンズ系と、被加工材を載置するX-Yステージと、該ステージとパルスレーザとを同期制御する制御装置とを備えたレーザ加工装置において、前記パルスレーザを複数台設置し、かつ、該複数台のパルスレーザから発射のパルスレーザビームの発射タイミングを同期させる同期装置を設置するとともに、発射されるレーザビームを拡散光源に変換する拡散板と、該拡散板に照射して得られるレーザ拡散光源の像を被加工材表面に結像させる集光円柱レンズ系および結像円柱レンズ系と、該レンズ系の間に介装されてレーザビームを整形するスリットと、を設けたことを特徴とするレーザ加工装置。
請求項（抜粋）：
所定出力のレーザビームを発射するパルスレーザと、該レーザビームの光強度空間分布を整形するレンズ系と、整形後のレーザビームが照射される被加工材を載置するX-Yステージと、該X-Yステージと前記パルスレーザとを同期制御する制御装置とを備えたレーザ加工装置において、前記パルスレーザを複数台設置し、かつ、該複数台のパルスレーザから発射のパルスレーザビームの発射タイミングを同期させる同期装置を設置するとともに、前記パルスレーザからX-Yステージまでのレーザ伝播経路に、発射されるレーザビームを拡散光源に変換する拡散板と、該拡散板に照射して得られるレーザ拡散光源の像を被加工材表面に結像させる集光円柱レンズ系および結像円柱レンズ系と、該レンズ系の間に介装されてレーザビームを整形するスリットと、を設けたことを特徴とするレーザ加工装置。
IPC (3件)：
B23K 26/06
, B23K 26/00
, H01S 3/00
B23K 26/06 E
, B23K 26/00 N
, H01S 3/00 B
4E068CD02
, 4E068CD05
, 4E068CD10
, 4E068CD13
, 4E068DA09
, 5F072AA06
, 5F072AB02
, 5F072JJ20
, 5F072KK12
, 5F072KK30
, 5F072MM08
, 5F072MM09
, 5F072MM17
, 5F072QQ02
, 5F072RR01
, 5F072RR03
, 5F072RR05
, 5F072SS06
, 5F072YY06
