特許
J-GLOBAL ID:200903083062340418

コンタクトプローブピンの取付装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 田澤 博昭 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-267891
公開番号(公開出願番号):特開平6-094750
出願日: 1992年09月11日
公開日(公表日): 1994年04月08日
要約:
【要約】【目的】 プローブピンの突き出し量を調整できるようにして被測定物の測定ランドに対するプローブピンの最適接触荷重が一様に得られるようにする。【構成】 プローブソケット2に対してプローブピン3を、該プローブピン3のプローブカード1からの突き出し量が調整可能に取り付けた。【効果】 被測定物の測定ランドに対するプローブピンの最適接触荷重が一様に得られる。
請求項(抜粋):
プローブカードにプローブソケットを介して支持され、被測定物の電気的特性を有する測定ランドを測定するプローブピンの取付装置において、前記プローブソケットに対しプローブピンを、前記プローブカードからのピン突き出し量が調整可能に取り付けたことを特徴とするコンタクトプローブピンの取付装置。
IPC (2件):
G01R 1/073 ,  H01L 21/66

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