特許
J-GLOBAL ID：200903083063115035
可変波長光フィルタ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
早川 誠志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-348928
公開番号（公開出願番号）：特開2007-155965
出願日： 2005年12月02日
公開日（公表日）： 2007年06月21日
要約：
【課題】フィルタの選択特性が良好で、低電圧駆動を可能にする。【解決手段】可動ミラー32は、第2基板31に形成された穴31a〜31dの内側に配置され、ミラー駆動手段は、可動ミラー32の中心から第2基板31の外縁に向かう線に直交し、且つ穴31a〜31dの外縁の異なるそれぞれの位置から一直線をなすように内方へ延び、長さ方向に捩れ変形自在な一対の軸42、43と、穴31a〜31dの内部に配置され、一対の軸42、43の先端にその外縁が連結されてその軸を中心に回動自在に支持された回動板41と、可動ミラー32の外縁から回動板41の一端側との間を連結する可撓性を有するヒンジ35と、回動板41の他端側と第2基板31の外縁との間に電圧を印加して、回動板41に軸42、43を中心とする回動力を与えるための電極46、49とを一組の駆動機構とし、この駆動機構を可動ミラー32の周りに等間隔で3組設けている。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
透光性を有する第1基板(21)と、
前記第1基板に形成され、その一面側が高反射率に形成された固定ミラー(22)と、
透光性を有し、前記第1基板に平行に対向する状態で配置された第2基板(31)と、
前記第2基板に形成され、その一面側が高反射率に形成され、該高反射率面を前記固定ミラーの高反射率面に対向させた可動ミラー(32)と、
前記可動ミラーを前記固定ミラーとの距離が変化する方向に移動させ、前記固定ミラーと前記可動ミラーの間を透過する光の波長を変化させるミラー駆動手段とを有する波長可変光フィルタにおいて、
前記可動ミラーは、前記第2基板に形成された穴(31a〜31d)の内側に配置され、
前記ミラー駆動手段は、
前記可動ミラーの中心から前記第2基板の外縁に向かう線に直交し、且つ前記穴の外縁の異なるそれぞれの位置から一直線をなすように内方へ延び、長さ方向に捩れ変形自在な一対の軸(42、43)と、
前記穴の内部に配置され、前記一対の軸の先端にその外縁が連結されて該一対の軸を中心に回動自在に支持された回動板(41)と、
前記可動ミラーの外縁から前記回動板の一端側との間を連結する可撓性を有するヒンジ(35)と、
前記回動板の他端側と前記第2基板の外縁との間に電圧を印加して、前記回動板に前記軸を中心とする回動力を与えるための電極(46、49)とを一組の駆動機構とし、
当該駆動機構が前記可動ミラーの周りに等間隔で3組以上設けられていることを特徴とする可変波長光フィルタ。
IPC (3件)：
G02B 26/00
, G02B 5/28
, B81B 3/00
G02B26/00
, G02B5/28
, B81B3/00
2H041AA21
, 2H041AB14
, 2H041AB15
, 2H041AC06
, 2H041AZ02
, 2H041AZ08
, 2H048GA04
, 2H048GA26
, 2H048GA32
, 2H048GA48
, 2H048GA60
, 2H048GA61
