特許
J-GLOBAL ID：200903083064125190
空気洗浄搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-316269
公開番号（公開出願番号）：特開平8-168621
出願日： 1994年12月20日
公開日（公表日）： 1996年07月02日
要約：
【要約】【目的】クリーンルーム内でより清浄度を上げて製品の製作から立ち上げ及び検査に至までの作業を可能にする。【構成】クリーンルーム内を移動可能なテーブルリフター11の上部に作業室12を設け、作業室12の上部に吸込口ファン14及びフィルター16を設け、作業室12の下部に吐出口ファン15及びフィルター21を設け、作業室12の側面に外部雰囲気と内部空間とを仕切るための仕切り部材を設け、作業室12内部をより清浄度の高い空間に保持したまま連続作業を行なう。
請求項（抜粋）：
昇降,移動可能な駆動装置を有するテーブルリフター上に作業室を設け、前記作業室の上部に外部空間から内部空間に順次つながる吸込口,吸込口ファン及びフィルターを設け、前記作業室の下部に内部空間から外部空間に順次つながるフィルター,ファン及び吐出口を設け、前記作業室の側面に外部雰囲気と内部空間とを仕切る仕切部材を設けたことを特徴とする空気洗浄搬送装置。
IPC (3件)：
B01D 46/00
, B65G 49/00
, F24F 7/06
